半導(dǎo)體產(chǎn)線上的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，大部分都是Scara類型，該類型的減速機(jī)絕大多數(shù)是密封式內(nèi)部預(yù)填脂的，沒(méi)有外部注油嘴，特別是Brooks的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人，是DD直驅(qū)結(jié)構(gòu)，無(wú)減速機(jī)的，且工作環(huán)境是無(wú)塵的，所以對(duì)于晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的保養(yǎng)，很多人沒(méi)什么概念。
半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)機(jī)器人保養(yǎng)


       其實(shí)晶圓搬運(yùn)機(jī)器人也是需要保養(yǎng)的。潔凈室并非絕對(duì)無(wú)塵，空氣中還是會(huì)有微塵的，它們會(huì)如幽靈般附著在晶圓搬運(yùn)機(jī)器人上。晶圓傳輸機(jī)器人結(jié)構(gòu)復(fù)雜，存在許多隱蔽的角落和凹槽，這些容易成為清潔死角。晶圓在刻蝕、沉積、清洗等程序中，也會(huì)產(chǎn)生毛刺、顆粒物、化學(xué)液體等殘留物，并附著到晶圓搬運(yùn)機(jī)器人上，所以，晶圓搬運(yùn)機(jī)器人是需要定期做清潔的，控制器上的過(guò)濾棉需定期更換。做清潔時(shí)，可順便檢查內(nèi)部線纜和牙叉的磨損情況。

       晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的Z軸滾珠絲杠和滾珠花鍵，每運(yùn)行800-1200小時(shí)，就需要涂抹點(diǎn)新的潤(rùn)滑油上去，運(yùn)行滿一年，則需要用無(wú)塵布把絲杠舊脂全部擦拭干凈，再加新脂。不要過(guò)量打脂，溢出會(huì)污染潔凈腔或晶圓。油脂需要潔凈室專用的，如Krytox（杜邦）全氟聚醚潔凈脂（LG2/PFPE）。

       晶圓搬運(yùn)機(jī)器人減速機(jī)里的油脂，也是有使用壽命的，通常是四五年，具體時(shí)間，需自行查看手冊(cè)。減速機(jī)更換潤(rùn)滑油，不建議客戶自行操作，非標(biāo)準(zhǔn)開蓋會(huì)引發(fā)破壞潔凈密封、產(chǎn)生顆粒污染FOUP和晶圓、丟失零點(diǎn)等風(fēng)險(xiǎn)。

半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)機(jī)器人

       晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的電池壽命時(shí)間，也需查手冊(cè)作登記提醒，通常是2-3年。不要等報(bào)警才換電池，建議直接做預(yù)防性PM更換，報(bào)警后一般僅有 1-2 周緩沖時(shí)間。別以為這時(shí)間很充足，很多晶圓搬運(yùn)機(jī)器人是進(jìn)口的，它的電池規(guī)格特殊，國(guó)內(nèi)不一定能采購(gòu)得到，國(guó)外進(jìn)貨，時(shí)間就不夠用了，就會(huì)有斷電丟零點(diǎn)的潛在風(fēng)險(xiǎn)了。


       若你的晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的手腕有齒輪帶，那就建議你2-3年就測(cè)一次張力，評(píng)估是否需要更換齒輪帶，避免精度不夠，誤判電機(jī)或減速機(jī)的問(wèn)題。