半導體產線上的晶圓搬運機器人，大部分都是Scara類型，該類型的減速機絕大多數是密封式內部預填脂的，沒有外部注油嘴，特別是Brooks的晶圓搬運機器人，是DD直驅結構，無減速機的，且工作環境是無塵的，所以對于晶圓搬運機器人的保養，很多人沒什么概念。
半導體晶圓搬運機器人保養


       其實晶圓搬運機器人也是需要保養的。潔凈室并非絕對無塵，空氣中還是會有微塵的，它們會如幽靈般附著在晶圓搬運機器人上。晶圓傳輸機器人結構復雜，存在許多隱蔽的角落和凹槽，這些容易成為清潔死角。晶圓在刻蝕、沉積、清洗等程序中，也會產生毛刺、顆粒物、化學液體等殘留物，并附著到晶圓搬運機器人上，所以，晶圓搬運機器人是需要定期做清潔的，控制器上的過濾棉需定期更換。做清潔時，可順便檢查內部線纜和牙叉的磨損情況。

       晶圓搬運機器人的Z軸滾珠絲杠和滾珠花鍵，每運行800-1200小時，就需要涂抹點新的潤滑油上去，運行滿一年，則需要用無塵布把絲杠舊脂全部擦拭干凈，再加新脂。不要過量打脂，溢出會污染潔凈腔或晶圓。油脂需要潔凈室專用的，如Krytox（杜邦）全氟聚醚潔凈脂（LG2/PFPE）。

       晶圓搬運機器人減速機里的油脂，也是有使用壽命的，通常是四五年，具體時間，需自行查看手冊。減速機更換潤滑油，不建議客戶自行操作，非標準開蓋會引發破壞潔凈密封、產生顆粒污染FOUP和晶圓、丟失零點等風險。

半導體晶圓搬運機器人

       晶圓搬運機器人的電池壽命時間，也需查手冊作登記提醒，通常是2-3年。不要等報警才換電池，建議直接做預防性PM更換，報警后一般僅有 1-2 周緩沖時間。別以為這時間很充足，很多晶圓搬運機器人是進口的，它的電池規格特殊，國內不一定能采購得到，國外進貨，時間就不夠用了，就會有斷電丟零點的潛在風險了。


       若你的晶圓搬運機器人的手腕有齒輪帶，那就建議你2-3年就測一次張力，評估是否需要更換齒輪帶，避免精度不夠，誤判電機或減速機的問題。