FOSB（前開式晶圓出貨盒）搬運站工作流程：

1、APM（晶圓盒自動真空打包機）對FOSB抽真空，然后打包，最后把包裹放到傳送帶上；

2、WCS（倉庫控制系統(tǒng)）給潔凈機器人發(fā)送取放指令，讓其將傳送過來的FOSB包裹進行分揀；

3、潔凈機器人通過視覺定位功能將FOSB包裹放到AGV小車平臺上。

FOSB上下料搬送機

FOSB（前開式晶圓出貨盒）搬運站設(shè)計圖紙

 

晶圓工藝小知識：

FOSB：全稱：Front Opening Shipping Box，中文：前開式晶圓出貨盒/運輸盒，專門針對 300mm（12 英寸）晶圓的跨廠運輸載具。

FOSB具有抗壓、防震、防顆粒污染、防潮的功能，保證長途物流運輸也能潔凈度。通常，硅片廠把裸硅片裝入FOSB中，多個FOSB打包成一個大包裹，再運輸?shù)轿锪鬈嚿稀OSB運送到 IC 芯片工廠，IC 芯片工廠在潔凈室里把FOSB拆包，然后把晶圓轉(zhuǎn)移到FOUP（前開式統(tǒng)一晶圓盒）里。

FOSB與FOUP的區(qū)別：FOUP用于半導(dǎo)體廠內(nèi)各工藝流程中，直接接入制程設(shè)備，F(xiàn)OSB是出門運貨用的。

 

APM：

全稱：Automatic Packing Machine，中文：晶圓盒自動真空打包機。功能：給 FOSB（前開式出貨晶圓盒）套防靜電鋁袋、抽真空、熱封，用于晶圓廠外出貨，隔絕水汽、污染，之后機臺自帶/外接潔凈機器人，視覺定位抓取 FOSB 放到 AGV 轉(zhuǎn)運出庫。

 

WCS：

全稱：Warehouse Control System，中文：倉庫控制系統(tǒng)。WCS屬于中間調(diào)度層，把 管理層 WMS 的業(yè)務(wù)任務(wù)翻譯成設(shè)備指令，下發(fā)給 Robot、AGV、傳送帶、升降機、APM 打包機等現(xiàn)場設(shè)備；反饋設(shè)備狀態(tài)、完成信號回傳給 WMS。