IDX 是 Index System 的縮寫(xiě)，不同的廠商，有不同的中文翻譯：索引傳送機(jī)、步進(jìn)移送機(jī)、工位分度移送系統(tǒng)、基板交換單元、機(jī)臺(tái)接口搬送單元……

 

液晶顯示面板廠IDX設(shè)備

 

       IDX設(shè)備為單臺(tái)工藝設(shè)備腔體內(nèi)部的LCD/OLED 大玻璃基板步進(jìn)輸送機(jī)構(gòu)，由搬運(yùn)機(jī)器人、端口 Port、防護(hù)框架、控制單元組成，主要應(yīng)用在Array 段（PVD、CVD、刻蝕、清洗、曝光）、Cell 段各類(lèi)設(shè)備內(nèi)部，把大尺寸玻璃基板，按工位一步一步分度移動(dòng)，依次經(jīng)過(guò)多個(gè)處理腔 / 處理工位。

       IDX設(shè)備特點(diǎn)：高精度定位：保證每一片玻璃停在工位的重復(fù)定位精度，直接影響鍍膜均勻、曝光對(duì)位良率。

液晶顯示面板IDX設(shè)備

專(zhuān)業(yè)術(shù)語(yǔ)解析

Array：Array 陣列段，LCD/OLED 面板制造第一道核心工藝工段，行業(yè)直接叫Array 工序 / Array 廠。

Array工藝內(nèi)容：在玻璃基板上面制作一大堆規(guī)則排列的 TFT 薄膜晶體管陣列，也就是像素開(kāi)關(guān)矩陣。具體流程：在裸玻璃上，反復(fù)做：鍍膜、光刻、蝕刻、剝離，一層一層把 TFT（薄膜晶體管）、像素電極做出來(lái)，形成密密麻麻像素開(kāi)關(guān)陣列。

相關(guān)設(shè)備：光刻機(jī)、PVD、CVD、刻蝕機(jī)、IDX設(shè)備。

Cell：Cell成盒段，把 Array 基板（TFT 基板）和彩膜 CF 基板對(duì)盒，中間灌入液晶；做貼合、切割。

 

       廣科智能熟悉國(guó)際主流品牌的IDX設(shè)備，如Rorze Systems、Hirata、T-Robotics、Hanwha Momentum，可提供改造、國(guó)產(chǎn)替代、調(diào)試、維修、保養(yǎng)等服務(wù)。