客戶的三協硅晶片移動機械手在跑了幾十片硅晶片后，取片時就會發生wafer detect error（晶片檢測誤差）的錯誤，pusher（推桿）比正常啟動慢了兩三秒。

     同樣的SR8241機械手手臂出現抖動，LP1/4輕微抖，LP2/3嚴重一些，這樣的故障，我們也維修過。

 

三協機器人SR8241-3042宕機維修

 

Sankyo三協硅晶片轉移機器人SR8241-3042基本信息：

自由度：5-AXIS

可動范圍「翻轉軸」(deg)：＋/-275；

可動范圍「X軸」(㎜)：-750~+750；

可動范圍「Z軸」(㎜)：470；

可動范圍「θ軸」(deg)：＋/-170；

最大速度「翻轉軸」(rag/sec)：9.42；

最大速度「X軸」(rag/sec)：2.44(1952㎜/sec)；

最大速度「Z軸」(㎜/sec)：720；

最大速度「θ軸」(rag/sec)：6.54；

荷載：2；

重復精度：＋/-0.05。

 

三協機器人SR8241-3042宕機維修

Nidec Sankyo三協硅晶片轉移機器人SR8241-3042維修好后，去現場調試